Iconium-HF, sıcak flaman yöntemi ile çalışmaya olanak sağlayan bir CVD sistemidir. Paslanmaz çelikten oluşan vakum kazanı içerisinde bulunan sıcaklık kontrollü flaman kaplama reaksiyonlarını aktive etmektedir. Sıvı soğutma destekli substrat yerleştirme alanı bulunmaktadır. Birçok farklı tipte fonksiyonel polimer, çok yüksek hızlarda ve monomer işlevselliği neredeyse tam olarak korunarak kaplanabilmektedir.

​

Temel özellikler:

​

• Araştırma laboratuvarları ve enstitüler için anahtar teslim CVD sistemi,

• Renkli, PLC tabanlı dokunmatik ekranlı kontrol arayüzü,

• Su sirkülasyonlu substrat soğutma,

• 6"e kadar substrat desteği,

• Akış kontrolü için bir kütle akış kontrolörü ve iki iğne vana,

• Basınç ölçümü için kapasitans vakum göstergesi,

• PID basınç (downstream) ve sıcaklık kontrolü,

• Rotary-vane vakum pompası,

• Kaplama sırasında eşzamanlı kalınlık ölçümü,

• Özel tasarım çeker ocak.

​

Opsiyonlar:

​

• Ek kütle akış kontrolörleri ve vanalar,

• Sıvı precursorlar için sıcaklık kontrollü bubbler