top of page

MCM-R2R, esnek substratlar üzerine fonksiyonel polimer kaplanmasına olanak sağlayan bir sarımdan sarıma CVD sistemidir. Kumaş, PET, kağıt, vb. substratlar kullanılabilir. MCM-R2R HFCVD veya PECVD teknikleri ile kullanılabilmektedir.
Temel özellikler:
-
Tamamen otomatik bir işleyiş, işlem sıralaması, çoklu tarife depolama ve diğer gelişmiş özellikler için bilgisayar kontrollü MCM-CVD yazılımı,
-
Su sirkülasyonlu substrat soğutma,
-
İki farklı yönde sarma kontrolü için hız kontrollü step motor,
-
Akış kontrolü için bir kütle akış kontrolörü ve iki iğne vana,
-
Basınç ölçümü için kapasitans vakum göstergesi,
-
PID basınç (downstream) ve sıcaklık kontrolü,
-
Rotary-vane vakum pompası,
-
5x10-3 torr üst düzey vakum kazanı,
-
Kaplama sırasında eşzamanlı kalınlık ölçümü,

bottom of page
