top of page
SAM_0017.JPG

MCM-R2R, esnek substratlar üzerine fonksiyonel polimer kaplanmasına olanak sağlayan bir sarımdan sarıma CVD sistemidir. Kumaş, PET, kağıt, vb. substratlar kullanılabilir. MCM-R2R HFCVD veya PECVD teknikleri ile kullanılabilmektedir.

Temel özellikler:

  • Tamamen otomatik bir işleyiş, işlem sıralaması, çoklu tarife depolama ve diğer gelişmiş özellikler için bilgisayar kontrollü MCM-CVD yazılımı,

  • Su sirkülasyonlu substrat soğutma,

  • İki farklı yönde sarma kontrolü için hız kontrollü step motor,

  • Akış kontrolü için bir kütle akış kontrolörü ve iki iğne vana,

  • Basınç ölçümü için kapasitans vakum göstergesi,

  • PID basınç (downstream) ve sıcaklık kontrolü,

  • Rotary-vane vakum pompası,

  • 5x10-3 torr üst düzey vakum kazanı,

  • Kaplama sırasında eşzamanlı kalınlık ölçümü,

SAM_0021.JPG
bottom of page