MCM-Graphene, yüksek kalitede grafen elde etmek amacıyla üretilmiş en gelişmiş CVD sistemidir. Sistem, müşteri isteklerine göre de özelleştirilebilen bilgisayar destekli akış hızı, sıcaklık ve basınç ölçme/kontrol etme donanımlarına sahiptir. 1200° derece sıcaklık sağlayabilen fırın, yine bilgisayar kontrollü otomatik bir entegre motor sistem ile kaydırılabilmektedir.

​

Temel Özellikler:

​

• Entegre yazılım ölçüm ve işlem takibine olanak sağlamaktadır,

• Otomatik fırın ray sistemi ve hızlı soğutma mekanizması,

• 2"e kadar substrat desteği,

• Üç adet entegre kütle akış kontrolör,

• Basınç ölümü için pirani vakum sensörü,

• Rotary-vane vakum pompası,

• Raylı programlanabilir, 25 cm ısıtma alanı bulunan, 1200° maksimum sıcaklığa çıkabilen tubular fırın.

 

Opsiyonlar:

​

• Upstream ve downstream PID basınç kontrolü,

• 
  Ek kütle akış kontrolörleri,

• Sıvı precursorlar için sıcaklık kontrollü bubbler sistemi.